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      Hope儀器S49 31/MT 質量流量計

      Hope儀器S49 31/MT 質量流量計

      簡要描述:

      Hope儀器S49 31/MT 質量流量計
      主體采用不銹鋼(316L)結構,氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

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      Hope儀器S49 31/MT 質量流量計

      質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。質量流量計(Mass Flow Meter縮寫為MFM,用于對氣體的質量流量進行精密測量。

      S49 31 質量流量控制器和質量流量計特點:

      ☆主體采用不銹鋼(316L)結構,氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

      ☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

      ☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。

      ☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。

      ☆配合MT-60 系列流量積算儀,可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

      S49 31 質量流量控制器和質量流量計主要應用領域:

      半導體制造行業的氣體流量控制;

      分析儀器設備的氣體計量與控制;

      各種形式的真空鍍膜設備;

      環境檢測與分析設備;

      化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業氣體流量檢測和控制;

      特種材料表面處理裝置與燃燒控制;

      混氣配氣系統和泄露探測系統等。

      2、S49系列質量流量控制器和質量流量計型號

      S49 31 系列質量流量控制器,S49為質量流量控制器和質量流量計產品,31/MT為本公司此產品設計序列號。

      其中:S49 31/MT 系列為質量流量控制器。

      S49 31A/MT 系列為質量流量計。

      質量流量計用于氣體質量流量精確測量計量;質量流量控制器不但具有質量流量計的測量計量功能,還具有自動控制氣體流量的功能。

      執行Q/CYHMT001-2011企業標準  

      Hope儀器S49 31/MT 質量流量計

      3 主要技術指標

      質量流量計和質量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定。

      質量流量單位為:標準狀態mL/min (毫升/分鐘)   (SCCM行業標準);

                     標準狀態L/min   (升/分鐘)(SLM行業標準)。

      標準狀態為:溫度----0

                 氣壓----101325Pa

      F.S(Full Scale):表示滿量程值

      表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術指標

      編號

      項目

      S49 31/MT

      S49 31A/MT

      1

      流量規格

      (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;

      (0~1,2,3,5)L/min

      2

      調節閥類型

      電磁調節閥


      3

      調節閥靜止狀態

      常閉


      4

      準確度

      ±1%F.S(10mL/min~5L/min規格,其余規格≤±2% F.S)

      5

      線性

      ±1.0%F.S,±1.5%F.S

      6

      重復精度

      ±0.2%F.S

      7

      響應時間

      (3~4)s

      8

      工作壓差范圍

      (0.05~0.3)MPa;           (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min

      9

      耐壓

      3MPa;           10MPa

      10

      工作環境溫度

      5~45

      11

      材料

      不銹鋼316L

      12

      標準密封材料

      Viton?,    EPDM,  或其他由用戶zhi定

      13

      漏率

      1×10-9atm.mL/s (He)

      14

      接頭

      Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),

      軟管接頭Ф4mm~Ф10mm  或其他

      15

      輸入輸出信號

      0V~+5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)

      16

      供電電源

      ±15V(±2%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

      17

      外形尺寸mm

      134×134×38

      18

      重量kg

      1.0

       

       

       

       

       

       

       

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