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      S48-300/HMT 質量流量計

      S48-300/HMT 質量流量計

      簡要描述:

      S48-300/HMT 質量流量計
      廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等行業的氣流測量與控制。

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      S48-300/HMT 質量流量計

      使用范圍

      質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等行業的氣流測量與控制。

      1.2 質量流量控制器和質量流量計

       質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC),具備流量測量和流量控制兩種功能。

      質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM),只有流量測量功能,不具備氣流控制功能。

      1.3 S48 300/HMT質量流量控制器的特點

      ☆ S48 300/HMT型質量流量控制器是在引進HORIBA STEC技術基礎上,結合國內需要而研制的一種數字式質量流量控制器產品,采用當今*的32位ARM系列處理器做數字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。

      ☆ RS232/485串口, Modbus(RTU)開放協議。協議簡單可靠,兼容性強,易于組網。配合上位機,可進行各種復雜的計量、控制操作及組態。

      ☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小,工作壓力范圍寬。 

      ☆主體采用不銹鋼(316L)結構,氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。

      ☆可任意角度安裝。

      兼容數字和模擬控制及顯示,使用方便。易于與電氣或自動控制系統配合。

      配合MT-50或51系列流量顯示儀,可對氣流的瞬時流量進行精確測量和計量。  

      S48-300/HMT 質量流量計

      S48 300/HMT數字流量控制器技術指標

      編號

      項目

      S48 300/HMT

      1

      流量規格

      (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

      2

      調節閥類型

      電磁調節閥

      3

      調節閥靜止狀態

      常閉

      4

      安裝角度

      任意

      5

      流量控制范圍

      2%-100%F.S.

      6

      流量測量范圍

      0-100%F.S.

      7

      響應時間

      ≤ 1 sec

      8

      工作環境溫度

      5-50℃

      9

      精度保證溫度

      15-35℃

      10

      精度

      ±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.)

      11

      線性精度

      ±0.5%F.S.

      12

      重復性

      ±0.2%F.S.

      13

      工作壓差

      -5L/min (50-300)kPa(D)                         10L/min-30L/min (100-300)kPa(D)                50L/min (150-300)kPa(D)

      14

      耐壓

      3MPa(G)

      15

      泄漏率

      <1×10-8Pa·m3/s(He)

      16

      接觸氣體材料

      316L,Viton? 氟橡膠,PTFE

      17

      管路接頭

      Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″

      18

      供電電源

      ±15V(±5%),+15V,150mA;-15V,200mA

      19

      設定信號

      數字:RS485/RS232

      模擬:0 - +5V,輸入阻抗>10kΩ

      20

      流量輸出信號

      數字:RS485/RS232

      模擬:0 - +5V,負載能力≤3mA

      21

      通訊接口

      數字RS232/RS485,波特率4800/9600/19200bps,

      Modbus RTU 協議從機,設備號可選范圍0-15

      22

      重量(kg)

      0.9

      4.2 訂貨規范

      在訂貨時應指明是質量流量控制器還是質量流量計,指明S48 300/HMT產品型號,流量規格,使用氣體種類,管接頭種類。

      例如:MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產品型號)  500mL/min(流量規格) N2(氣體種類) Φ6(管路接頭)

      運過程中,不要打開產品包裝,注意防雨、防塵、防磕碰。

      不能在ji端嚴寒、高溫、潮濕環境長時間存放。

       

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