隨著氣體工業(yè)的飛速發(fā)展，氬氣在石油化工、冶金、電子、新材料等工業(yè)應(yīng)用越來(lái)越廣，對(duì)氬氣純度的要求也越來(lái)越高。空分裝置帶有一套氬提純裝置，利用氧、氮提純過(guò)程中產(chǎn)生的粗氬，經(jīng)純化系統(tǒng)加氫除氧后再進(jìn)一步精餾制得。產(chǎn)品有氣、液態(tài)的純氬和高純氬。

　　按純度的等級(jí)來(lái)分，氬氣可分為純氬和高純氬。

　　純氬和高純氬的技術(shù)要求

　　氬氣質(zhì)量的分析主要是測(cè)定氬氣中地雜質(zhì)含量，然后以100%減去雜質(zhì)的量得到其純度。由于氬氣中所含的雜質(zhì)種類(lèi)較多且大多為*性氣體，含量又極微少，因此，氬氣的質(zhì)量檢驗(yàn)難度較大。

　　純氬和高純氬的分析方法

　　國(guó)標(biāo)規(guī)定的對(duì)氬氣中雜質(zhì)分析的方法較繁瑣，所用分析儀器較多，不適用工廠大批量生產(chǎn)時(shí)的大工作量的檢測(cè)分析。在綜合國(guó)標(biāo)要求的基礎(chǔ)上，經(jīng)過(guò)資料檢索、咨詢(xún)及考察，高純氬分析色譜一次進(jìn)樣能分析除水分外的其它全部雜質(zhì)，滿(mǎn)足了對(duì)氬氣生產(chǎn)的需要。

　　氬氣攜帶少量水汽以一定流速流經(jīng)處在高頻振蕩場(chǎng)中的石英管，管外施以1500V高壓，石英管內(nèi)氬在100MHz高頻電磁場(chǎng)振蕩下運(yùn)動(dòng)，由于受振蕩氬的平均自由程能超過(guò)其電離能，氬被電離在管內(nèi)，形成離子、電子、中性粒子的混合氣體一等離子體，氬受激放電產(chǎn)生弧光。有關(guān)參數(shù)在*條件下，高壓電路導(dǎo)通，調(diào)至一定放電電流，出現(xiàn)穩(wěn)定的放電弧光。