高純氣體(High Purity Gases)氣體工業名詞，通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99199%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮，氫，氬，氦可作為運載氣，保護氣和配制混合氣的底氣。 　　
       高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體和無機高純氣體。
有機高純氣體：
1、烷烴類：
　　甲烷(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3H8)、環丙烷(cyc-C3H6)、正丁烷(n-C4H10)、異丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12)、新戊烷(neo-C5H12)、氯甲烷(CH3Cl)、氯乙烷(C2H5Cl)、三氟甲烷(CHF3)、環氧乙烷(C2H4O)、砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、硼烷(B2H6)、硅烷(SiH4)等；
2、烯烴類：
　　乙烯(C2H4)、丙烯(C3H6)、丙二烯(C3H4==)、1-丁烯(1-C4H8)、異丁烯(i-C4H8)、反-2-丁烯(t-2-C4H8)、順-2-丁烯(c-2-C4H8)、1.2-丁二烯(1.2-C4H6)、1.3-丁二烯(1.3-C4H6)、氯乙烯(C2H3Cl)等；
3、炔烴類：
　　乙炔(C2H2)、1-丁炔(1-C4H6)、2-丁炔(2-C4H6)、甲基乙炔(C3H4)、乙烯基乙炔(C4H4=≡)等；
4、其他：
　　二甲醚(C2H6O)、甲硫醇(CH4S)、熏蒸劑(C2H4O-CO2)等
無機高純氣體：
1、空氣(Air)、氫氣(H2)、氧氣(O2)、氮氣(N2)、氬氣(Ar)、氦氣(He)、氖氣(Ne)、氪氣(Kr)、氙氣(Xe)等； 　　
2、氨氣(NH3)、氯氣(Cl2)、二氧化硫(SO2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、二氧化氮(NO2)、氧化亞氮(N2O)、氧硫化碳(COS)、氯化氫(HCl)、溴化氫(HBr)、硫化氫(H2S)等； 　　
3、三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)、四氟化碳(CF4)、四氟化硅(SiF4)、　四氯化硅(SiCl4)、六氟化硫(SF6)等

常見高純氣體的用途：
環氧乙烷可用作生產增塑劑、潤滑劑等； 　　
氯甲烷是重要的甲基化劑，還可作致冷劑、發泡劑等； 　　
氯乙烷可用作煙霧劑、冷凍劑、汽油抗震劑、局部麻醉劑； 　　
二甲醚可作噴氣推進劑、制冷劑、麻醉劑；甲硫醇用于合成染料、醫藥、農藥； 　　
乙炔可直接用于金屬切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等.