色譜分析一直是氣體質(zhì)量控制的重要手段之一，但5N及以上純度的高純、超純氣體和電子工業(yè)用氣體的分析是色譜分析的難點。不僅樣品中要檢測的雜質(zhì)種類多，而且含量很低，而且空分產(chǎn)品中的雜質(zhì)容易被空氣成分污染，需要長期吹掃更換。電子工業(yè)所用氣體具有易吸附性、腐蝕性、在水中結(jié)晶、在水中變化特性等特性。

　　氦離子氣相色譜儀就是針對上述問題研制的。產(chǎn)品采用全新工業(yè)設(shè)計，配備超高靈敏度脈沖放電氦電離檢測器，將被測成分的響應(yīng)提高到ng/g級（10-9）；采用超低泄漏率的卡套或VCR接頭連接進樣閥和吹掃保護氣路，有效隔離樣品與空氣，避免空氣污染；真空負壓取樣系統(tǒng)不僅可以大大減少樣品的更換次數(shù)，而且可以避免電子工業(yè)所用氣體中與水接觸的SiCl4、HF和SiH4的輻射和結(jié)晶；EP級管線和經(jīng)過特殊處理的色譜柱支架的應(yīng)用，避免了樣品吸附對分析的影響。

 

　　氦離子氣相色譜儀采用由多個吹掃進樣閥和多個色譜柱組成的多閥多柱的中心切割和反吹分離技術(shù)。通過色譜工作站設(shè)定的時間程序自動控制取樣、切換、切割和反吹過程。一臺儀器可實現(xiàn)高純氮氣、高純氬氣、高純氧氣、高純氦氣、高純氫氣的分離分析高純二氧化碳、氪氣、氙氣等高純空分氣體和霓虹燈；還可針對電子工業(yè)中使用的三氟化氮、六氟化硫、六氟化鎢、三氯化硼、氯化氫、磷、硼、砷、硅、鍺烷等氣體制定具體的分析方案。

　　氦離子氣相色譜儀內(nèi)部設(shè)計了三個獨立的連接流程，可連接本地處理（實驗室現(xiàn)場）、單位主管（如質(zhì)檢科長、生產(chǎn)廠長等）和上級主管（如環(huán)保局、技術(shù)監(jiān)督局等），使人員可以方便地監(jiān)控儀器運行情況，實時分析數(shù)據(jù)結(jié)果。

　　1、儀器配備5.7英寸真彩顯示屏，顯示清晰、音色優(yōu)雅、大氣；

　　2、系統(tǒng)有中英文兩套操作系統(tǒng)，可自由切換；

　　3、溫控區(qū)域可由用戶自由命名，方便用戶使用；

　　4、儀器采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計，設(shè)計清晰，更換升級方便，保護投資效益。