對于高純氣體中的微量雜質：02、H20、H2、N2、CO、C02、HC、微粒等的檢測方法  

 

    高純氣體分析色譜法，氣相色譜是以氣體作為流動相的分離技術。氣相色譜儀器隨著對高純氣體中雜質分析精度的提高發展很快，檢測量從10—6已發展到現今的10q、10 - 12的檢測。色譜儀型號繁多、性能各異，但其構造基本相似，主要由載氣控制系統、進樣系統、分離系統（色譜柱）和檢測系統（包括檢定器和同檢定器相連的電氣部分）等部分組成。通常被測氣體由進氣系統進入色譜柱，由柱內的吸附劑對高純氣體中的各雜質組分的吸附順序、能力的 不同，各雜質組分按先后順序被分離進入檢定器，便產生一定的信號，經電氣部分輸入計算 機進行數據處理，并用記錄儀記錄色譜圖；每個雜質組分在色譜圖上都有一個完整的色譜 峰，以峰的位置進行定性，峰的面積或峰的高度進行定量。通常采用高純氣樣品或已知濃度 的標準氣樣品進行定性、定量。在色譜分析中，為確保分析的精度和準確性，除了要有一臺質量優良、分析精度滿足要求的色譜儀外，還應具有可靠的比對用標準氣、樣氣，該標準 氣、樣氣應是通過有資格的標定機構確認的合格產品。在色譜分析中，載氣中的雜質含量必須嚴格控制，通常載氣應經過純化處理，使其雜質含量比所分析的相同組分的雜質含量低半個或1個數量級；色譜儀的檢定器的性能常常決定著色譜法的檢測精度。

 

二、高純氣體中微量氧分析

 

    高純氣體中微量氧的分析，除采用高純氣體分析色譜法檢測外，常常采用在線的微氧分析儀，對高純氣體中的微氧雜質進行連續的監測，此種微氧分析儀一般安裝在高純氣體制取設備或純化設備出口，用以監測獲得的高純氣體中的微氧含量是否符合規定的要求；另外也常常安裝在高純氣體的輸送管路的始、末端，用以監測高純氣體輸送過程的污染狀況，以確保用氣設備處的微氧含量符合規定的要求。目前在10一9級微氧檢測中采用微氧分析儀，鉑系列氧分析儀是目前先進的微氧分析儀，它采用一個非消耗型電化學傳感器，類似于庫倫計的過程，在電化學池內氧量被降低了，鉑系列測氧時對傳感器的任何部分都沒有化學變化和分解。

 

三、高純氣體中微水分析

 

    高純氣體中微水分析方法較多，目前常用的分析方法主要有：氣相色譜法、露點法、電解法、電容法等。微水分析儀是一種電解式微水分析儀，它采用覆蓋法用的吸濕材料薄膜覆蓋電極，當對電極加上電壓時，水分被分解，在電極之間產生電流，被測電流由微處理器轉換為10-6、10—9或露點。該儀器的檢測水分范圍有0～300×10q、0～3×10—6等。